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　　微光顯微鏡(Emission Microscope，EMMI)是一種在半導體制造和測試過程中至關重要的故障分析和失效檢測工具。通過偵測半導體器件內部因缺陷或異常而釋放的微量光子，實現(xiàn)對元件缺陷的精確定位和分析。當給缺陷/失效半導體元件施加電壓時，元件中電子-空穴對結合產(chǎn)生光子，或者元件的熱載子釋放出多余的動能，這些光子以光子的形式呈現(xiàn)，并被EMMI所偵測到。這些被偵測到的故障點也被稱為亮點或熱點(Hot spot)。

　　自主研發(fā)的EMMI，憑借其配備的高增益相機與探測器，以及先進的圖像處理技術，能夠精準捕捉到這些微弱的光子信號。該設備在檢測過程中不會對被測元件造成任何物理損傷，確保了測試的準確性與可靠性。在半導體領域，EMMI不僅能夠協(xié)助技術人員精確定位缺陷、深入理解失效機制，從而改進制造工藝、提高產(chǎn)品質量;同時，它還可用于檢測半導體器件的多種失效情況，如漏電結、接觸毛刺、閂鎖效應以及氧化層漏電等。EMMI作為一種高效的故障分析和失效檢測工具，在半導體領域具有廣泛的應用前景和重要的技術價值。